该设备是自动供应特殊液态化学品(如:TEOS,TEB,TEPO,4MS Etc);可监控实时的供应压力变化、保存数据、化学品使用情况、剩余量等;一键启动拆除化学品钢瓶前管道吹扫的过程(有预前编好的PLC宏);BCSS-VMB-LDS在特气使用量较大的工况中可通过VMB配合使用。
特点性能
1.AUTO PRESSURE ADJUST SYSTEM 系统
2.根据200L Bottle的制作(Weight , Level Type)
3.独立的 OUTLET PURGE 功能, 可以AUTO PURGE CYCLE
4.制作为2个Cabinet，可以Non Stop Chemical Supply
5.体现出以用户为主方便的 OPERATION MENU & 程序
6.PLC BASE CONTROLLER
- ■ 产品参数
