该设备是自动供应特殊业态化学(如：TicI4,TEOS,TEB,TEPO,TDMAT,4MS Etc);可监控实时的供应压力变化、保存数据、化学品使用情况、剩余量等;一键启动拆除化学品钢瓶前管道吹扫的过程(有预前编好的PLC宏);一个保存与替换类型的TANK(BULK TANK)Chemical 供给用 Tank(PROCESS TANK)。
特点性能
1.设有可根据用户实际情况自主设置的OPERATION MENU 程序
2.PURGE可选择性使用HEATING功能
3.自动的HE GAS压力调节方案
4.独立的 OUTLET PURGE 功能, 可用AUTO PURGE CYCLE
5.PLC(Omron NJ) BASE CONTROLLER
6.Safety Part 强化 (Spill, Smoke, UV/IR, High Temp) 漏液 烟雾 火花 高温
7.增设P-N2 Purge Line增加Purge效应
8.因为增加Vacuum Gauge而进行Tank Change时 避免Fume发生
- ■ 产品参数
