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气体管路


基本介绍/GASLINE

在半导体制造过程中,气体管路是至关重要的组成部分,它确保了各种工艺气体的精确传输与控制。这些照片展示了一个典型的高精度气体管路系统,其设计复杂而精密,能够满足半导体生产对气体纯度和流量的高标准要求。

气体管路系统主要用于传输高纯度气体,如氮气、氢气、氩气等,这些气体在半导体制造中扮演着不同的角色,例如用作清洗、保护或反应介质。该管路通过多个分支和连接点,将气体从气源精确地输送到各个工艺设备,保证了生产过程的连续性和稳定性。



特点性能


■ 产品参数

气体管路


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